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B.3.3.3.3飞行时间粒径测量大粒子的尺寸可用飞行时间仪来测量。空气样本抽人仪器,经喷嘴进人一个局部真空区,空气因膨胀而加速,测量在真空区进行。空气样本中的所有粒子均在测量区加速,粒子的加速度与粒子质量成反比。利用测量点的风速与粒子速度两者的关系,可测定粒子的空气动力学直径。知道环境与测量区之间气压的压差,可直接计算出风速。根据粒子在两束激光间的飞行时间测定粒子速度。飞行时间仪可测量大到20μm粒子的空气动力学直径,粒径分辨率好于10%。获取样本的方法与离散粒子计数器测量相同;确定粒径范围的方法也与离散粒子计数器相同。洁净室检测通常包括空气洁净度、温湿度、压差等多个参数。广东洁净工作台检测规范性强

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。湖南洁净工作台检测哪家好洁净室的发展与现代工业、现代技术密切联系在一起。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响

在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。洁净室检测人员需经过专业培训，熟悉检测流程和标准。

D.3.2静压差测试，应符合下列规定：1静压差的测定应在所有的门关闭时进行。2仪器宜采用各种型式的微压计，仪表灵敏度应小于1.0Pa。3洁净厂房有多个洁净室（区)时，应从**里面的房间与相邻房间的压差测试开始，并应按顺序向外进行检测。D.3.3已安装的空气过滤器泄漏测试，应符合下列规定：1仪器应使用采样量大于11/mn的光学粒子计数器。2应在过滤器上风侧引入大于等于0.1um(0.5um)粒子，粒子浓度应大于3.5×10P/m³的大气尘或其他气溶胶；在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处，并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。洁净室检测中发现的任何问题都应立即记录并跟踪处理。广东消毒液净化车间环境检测值得推荐

温湿度波动范围的控制对于某些敏感产品的生产至关重要。广东洁净工作台检测规范性强

单向流洁净室的流态从雷诺数判断是紊流的，所以所谓层流洁净室的层流和流体力学上的层流是完全不同的概念。因此，层流洁净室这个名词是不贴切的，国外某些标准和文章也指出这一点，例如英国标准BS-5295就曾把所谓层流洁净室定义为单向流洁净室，只是照顾习惯在括号中注明为层流。前联邦德国标准VDl-2083则用“非紊流的置换流”这一术语，并在注中指出，层流这一概念只是为了区别早于层流洁净室出现的紊（乱）流洁净室而在当时采用的习惯用语，“层流系统”的确切意思并不是分层流动，而是紊流的置换流，用本章提到的概念是紊流的渐变流。在流体力学中，这种流动状态也可称平行流或单向流。1977年中国在《空气洁净技术措施》中选用了“平行流”这个术语，在该术语后面同时也指出习惯上称“层流”。广东洁净工作台检测规范性强