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（七）室内噪声1、仪器设备和环境仪器，设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。3、技术要求室内噪声级应符合《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的规定。在空态情况下，非单相流洁净室不应大于60dBA；单向流、混合流洁净室不应大于65dBA；洁净室的噪声频谱限制各频带的声压级值不应大于《洁净厂房设计规范》GB50073-2001表4.4.2的规定。4、操作过程及判定（1）测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。（2）洁净室面积在15m点采样，除房间两对角线相交的室中心位置外，另在房间四角对角线上对称的选取4点。（3）执行标准的编号及标准实施日期。（4）被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。（5）被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径或沉降菌、浮游菌、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差、被测洁净室的温湿度、噪声。（6）测试用的仪器的编号和标定征书测试方法细则及测试中的特殊情况.（7）测试结果包括在采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。（8）对异常测试值进行说明及数据处理。洁净室检测是确保生产环境达到特定洁净度标准的关键步骤。浙江实验室环境检测服务至上

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。上海排风柜检测规范性强洁净室检测不仅是当前生产的需要，也是对未来产品质量的投资。

5.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列规定：1洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光，便于除尘，并应减少凹凸面。2踢脚不应突出墙面。3洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜采用干燥作业，抹灰应采用符合现行国家标准《建筑装饰装修工程质量验收规范》GB50210中高级抹灰的要求。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐腐蚀、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。...............

6.2.1洁净室（区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。6.2.2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。6.2.3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。6.2.4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。6.2.5非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。抽样对有设计要求的区域进行检测。

15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。15.1.2设计有微振控制要求的洁净厂房时，应符合下列规定：1总平面布置时，应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响；2设有精密设备、仪器的洁净厂房，其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计；3对设有精密设备、仪器的洁净室（区）有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施；4洁净室(区)内精密设备、仪器，经测试确认受到周围振动影响时，应采取被动隔振措施。洁净室的气密性检测有助于减少外界污染物的渗入。山东洁净室检测诚信推荐

洁净室内的照明设备需定期清洁，避免成为污染源。浙江实验室环境检测服务至上

B.3.3.3.2离散粒子计数器（DPC）测量使用离散粒子计数器测量大粒子的方法与B.1中的空气悬浮粒子计数方法基本相同，不同点只有一处，由于只需要大粒子的计数数据，因此对1μm以下粒子的仪器灵敏度无要求。注意离散粒子计数器的样本需是直接采自采样点的空气；计数器采样管的长度不得超过1m；离散粒子计数器的采样流量至少0.00047m/s。单向流洁净室中，计数器采样口的尺寸应适应等动力采样。在非单向流区域，离散粒子计数器的采样口应朝上，采样口直径应不小于30mm。设定计数器的粒径范围，使其只测量大粒子。为了保证所测粒子的浓度不大于出现重叠误差的浓度，应保留一个低于5μm（见GB/T25915.1-2010中表1）的粒径档。将这个小于5μm粒径档的浓度数据加到大粒径数据中，浓度之和不应超过所用粒子计数器比较大浓度建议值的50%。浙江实验室环境检测服务至上