我司自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，能精细掌控温度变化。温度波动控制可选 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多档，满足严苛温度需求。该系统洁净度表现优异，可达百级、十级、一级。关键区域静态温度稳定性 ±5mK，内部温度均匀性小于 16mK/m，为芯片研发等敏感项目营造理想温场，保障实验数据不受温度干扰。湿度方面，8 小时内稳定性可达 ±0.5%；压力稳定性为 +/-3Pa，设备还能连续稳定工作 144 小时，助力长时间实验与制造。在洁净度上，工作区洁净度优于 ISO class3，既确保实验结果准确可靠，又保障精密仪器正常工作与使用寿命，推动科研与生产进步。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。光刻机高精度恒温恒湿存储柜
激光干涉仪用于测量微小位移，精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃，由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致，二者热胀冷缩程度不同，会造成测量基线的微妙变化，导致测量位移结果出现偏差，在高精度机械加工零件的尺寸检测中，这种偏差可能使零件被误判为不合格品，增加生产成本。高湿度环境下，水汽会干扰激光的传播路径，使激光发生散射，降低干涉条纹的对比度，影响测量人员对条纹移动的精确判断，进而无法准确获取位移数据，给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。芯片蚀刻恒温恒湿设计设备内部压力稳定性可达 +/-3Pa。
光学仪器的生产对环境的洁净度、温湿度有着极其严格的要求，精密环控柜成为保障光学仪器高质量生产设备。在镜头研磨和镀膜工艺中，微小的尘埃颗粒都可能在镜头表面留下划痕或瑕疵，影响光线的透过和成像质量。精密环控柜配备的高效洁净过滤器，能够将空气中的尘埃颗粒过滤至近乎零的水平，为镜头加工提供超洁净的环境。同时，温度的精确控制对于保证研磨盘和镜头材料的热膨胀系数稳定一致至关重要。温度波动可能导致研磨盘与镜头之间的相对尺寸发生变化，使研磨精度受到影响，导致镜头的曲率精度和光学性能不达标。
在现代精密制造领域，三坐标测量仪是无可替代的关键设备，广泛应用于模具、汽车零部件等复杂形状工件的精密测量工作中。它凭借高精度的测量能力，为工业生产的质量把控提供了支撑。然而，环境因素对其测量精度影响巨大。当温度不稳定时，测量仪的花岗岩工作台、坐标轴导轨等关键部件会因热胀冷缩产生热变形。这种变形看似微小，却足以导致测量空间的坐标原点发生漂移，使得测量点的三维坐标值出现不可忽视的误差。而在湿度波动时，潮湿空气宛如无孔不入的 “幽灵”，悄然侵蚀仪器的电子线路板。这极易造成短路、信号干扰等严重问题，进而致使测量数据出现跳变、丢失等异常情况。此类状况不仅严重影响测量的准确性与连续性，还会对整个生产流程造成连锁反应，阻碍相关产业的高质量发展。该系统可实现洁净度百级、十级、一级，温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃。
精密环控柜能够实现如此性能，背后蕴含着先进而复杂的原理。在温度控制方面，自主研发的高精密控温技术是关键所在。通过高精度传感器实时监测柜内温度，将数据反馈至控制系统。控制系统依据预设的精确温度值，以 0.1% 的控制输出精度，调节制冷（热）系统的运行功率。例如，当温度高于设定值时，制冷系统迅速启动，精确控制制冷量，使温度快速回落至目标范围；反之，加热系统则及时介入。对于湿度控制，利用先进的湿度调节装置，通过冷凝除湿或蒸汽加湿等方式，依据传感器反馈的湿度数据，将设备内部湿度稳定性控制在 ±0.5%@8h 。在洁净度控制上，采用多层高效洁净过滤器，通过物理拦截、静电吸附等原理，对进入柜内的空气进行深度过滤，确保可实现百级以上洁净度控制，工作区洁净度优于 ISO class3 。针对高精密仪器使用区域，提供稳定环境，延长仪器设备的使用寿命。芯片沉积恒温恒湿存储柜
设备采用EC风机，运行时更加静音，高效。光刻机高精度恒温恒湿存储柜
在电池制造流程里，电解液的注入环节堪称重中之重，其对温湿度的要求近乎严苛。哪怕是极其细微的温度波动，都可能引发电解液的密度与黏度发生改变。这看似不起眼的变化，却会直接干扰注液量的控制。一旦注液量出现偏差，电池内部的电化学反应便无法在正常状态下进行，导致电池容量大打折扣，使用寿命也大幅缩短。而当湿度攀升过高，空气中游离的水分便会趁机混入电解液之中。这些水分会与电解液的成分发生化学反应，生成一系列有害杂质。这些杂质会无情地腐蚀电池内部结构，严重破坏电池的稳定性与安全性，给电池的使用埋下诸多隐患。光刻机高精度恒温恒湿存储柜
