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G:渗透管的渗透率(Lg/min);M:液体的摩尔质量(g/mol);Q:稀释气体的流量(L/min);VM:配气状态下气体的摩尔体积(L/mol)。标准气体配制方法编辑包括气体的发生,一定体积或一定质量物质的量取及用空气稀释至一定浓度等步骤。气体发生由于各种物质的物理、化学性质不同,它们的存在形式各异,因此,获得标准气体的方法也不相同。对于以液体状态存在的挥发性较大的物质,可利用液体的挥发作用来制取。此外,也可以利用化学反应来制取。用后一种方法所产生的气体常常含有杂质,需先用适当的方法除去杂质后,贮存到适当的容器中,测定浓度后备用。表1列出了一些常见气体的发生方法。740)"height=268>贮存无论用什么方法产生的标准气体,通常都要收集到适当的容器中保存。生产厂家一般都是将其压入钢瓶或玻璃钢瓶中,并用清洁气体稀释成一定浓度,作为商品出售。在生产车间或实验室中可用玻璃容器、塑料袋或注射器临时保存。但要注意,被贮存的气体不能与容器发生化学作用,也不能通过器壁或缝隙漏掉。空气稀释用上述方法所获得的标准气体,浓度一般都比较大,不宜直接作为标准气体使用,而是把它作为原料气。福建乙烯标准气体供应厂家福建二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases):在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。
△S:相邻两次称量的时间间隔(min);实际测定时,记录一系列称量和时间数据,用上式计算渗透率并求其平均值。或以称量数据为纵坐标,时间为横坐标,绘制渗透率的特性曲线,所得直线的斜率即为渗透率。(2)渗透管动态配气装置用已知渗透率的渗透管配制标准气体的装置如图6所示。740)">将渗透管放在气体发生瓶中,再将气体发生瓶放入恒温水浴中,恒温水浴的温度要与测定渗透率时的温度相同(一般为25±1℃),这样就可不作温度校正。稀释气(压缩空气)经硅胶、活性炭和氢氧化钠净化器2除去水分和杂质后,再经流量控制阀和流量计3进入气体发生瓶7(即混合器)中,将渗透出来的气体分子带出,就得到标准气体。标准气体的浓度可由下式求出(在25℃和一个大气压下)。740)">式中:z:所配标准气体的浓度(ppm);G:渗透管的渗透率(Lg/min);M:液体的摩尔质量(g/mol);Q:稀释气体的流量(L/min);VM:配气状态下气体的摩尔体积(L/mol)。乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
是判定标准气体质量的依据。标准气体不确定度的定义[5]作为定量属性的不确定皮概念在***意义上是指测量结果的不肯定.也可以理解为:测量结果带有的一个参数,用以表征合理赋予被测盘值的分散性。测盐不确定度一般包含若干分盐,其中一些分量可用测量列结果的统计分布评定,并以实验标准偏差来表征,也被称为A类分量、A类评定或A类不确定度;另一些分量也可用标准偏差来表征的成分,是基于经验或其它信息的取定概率分布估算出来的,被称为B类分量、B类评定或8类不确定度.而展伸不确定度般**多给出二位有效数字,中间计算的不确定度可多取位。在实际工作中理解不确定度的商念、正确运用估计不确定度的方法,往往可以使我们得到个有意义的测量结果。标准气体在进样中的注意事项[6]标准气体的特殊性,对采样有着特殊的要求,很多使用者由于采样的不规范,使得数据偏差很大,在这里我提供样品取样应该注意的几个方面:1、取样管线的选择,由于胶管使用起来很方便,很多传统的进样管线都采用此类,但是众所周知,胶管对大部分有机气体,和含硫类的气体吸附性非常强,而且它的渗透性也很强,所以使用各类胶管来采样是不可取的,对分析数据造成很大偏差。四川一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。二氧化氮标准气体生产
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在标准气体研究阶段,要考察所研究的标准气体的均匀性,一般采用气相色谱法在相同的操作条件下,进行测定,以考察标准气体的均匀性,通常用平均值的一致性检验方法来判断。由于均匀性是考察同一瓶标准气体在制备完以后,多长时间量值达到稳定,由有限次测定得到的平均值,在方法的不确定范围内应该是不***的。如果差异是***的,这个因素就是标准气体的不均匀性造成的。标准气体稳定性编辑前言标准物质是指:“具有足够均匀并已经很好地确定某一种或多种特性的物质或材料,用于校准仪器、评价测量方法或确定物质的量值。”标准气体是气体标准物质,由于标准气体具有一定的有效期,因此,标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。众所周知,装入高压容器(钢瓶)中的标准气体的一个重要条件是在保存和使用过程中其量值不应发生变化。实际上,标准气体中成分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象,而使其量值随时间发生变化,在含量越低,组成成分越复杂时,这种变化就越大。标准气体稳定性研究如下:稳定性影响因素[2]标准气体稳定性在很大程度上与容器的材料特性、容器内壁的预处理、气体本身的化学特性和使用条件有着密切关系。福建气体批发厂家
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