11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上;现场除正常照明外,应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前,应彻底清洁,并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面,设备的软胶轮应予包裹,避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封,并应装饰处理。指洁净室(区)在生产操作全部结束,生产操作人员撤离现场并经过20 min自净后。温湿度无尘室检测范围

12.2.1排烟管道的安装试验应符合本规范第5章的有关规定。12.2.2排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。12.2.3砖、混凝土风道的制作应保证管道的气密性,灰缝应饱满,内表面水泥砂浆面层应平整。12.2.4送风口、排烟口的固定应可靠,表面应平整、无变形、调节灵活。排烟口距可燃物或可燃构件的距离不应小于1.5m。排烟口安装时不应影响防倒灌设施正常发挥作用。排烟口应安装板式排烟口,不应漏风。12.2.5排烟风机的安装应符合下列规定:1当**排烟风机设在混凝土或钢架基础上时可不设减振装置;若需设置减振装置,则不应使用橡胶减振装置。2排烟风机宜安装在该系统比较高排烟口之上,并宜安在机房内,机房与相邻部位隔墙应符合防火要求。北京微生物无尘室检测规范性强无尘室是一种完全封闭、密封的房间,它的主要目的是控制空气中的尘埃颗粒数量。

17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查,并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h,不得反转,其滑动轴承最高温度不得超过70℃。17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认,应进行带冷(热)源的系统正常联合试运转,并不应少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调,动作正确,无异常现象。17.3.4在系统和设备的外观检查后应进行单机试运转检查,并应确认运转正常。其中风机的试运行时间不少于2h,不得反转,其滑动轴承最高温度不得超过70℃。17.3.5安装确认后应进行空态或静态条件下的运行确认,应进行带冷(热)源的系统正常联合试运转,并不应少于8h。系统中各项设备部件和自动控制环节联动运转应协调,动作正确,无异常现象。
13.3.1可拆卸式电磁屏蔽室的壁板、顶板和底板宜选用1.5mm厚钢板,或0.3mm~0.5mm厚钢板、铝板或不锈钢板。屏蔽模块板相互连接处应安装连续的导电衬垫。施工直接安在围护结构地面上的底板时,底板与地面之间应铺2mm~3mm厚的电绝缘和能隔水汽的垫层。安装过程中不得在底板上洒水。13.3.2焊接式电磁屏蔽室的壁板和顶板宜选用2mm厚钢板,底板宜选用2.5mm~3mm厚钢板。选用铜板、铝板或不锈钢板时,均宜选用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接时严禁烧穿屏蔽壁板,不得使壁板变形。当在屏蔽壁板表面粘贴铁氧体等吸波材料时,必须把表面焊缝打磨平整。高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气,其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统,应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素,经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统,除应符合本规范外,还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时,比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部,比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。一般正压无尘室比较常见,就是让室内的空气压力大于室外的压力。安徽电子厂房环境无尘室检测频率
无尘室的洁净技术不断发展完善,为更多领域的发展带来新的可能。温湿度无尘室检测范围
7.1.1洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1.2气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7.1.3有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置:1运行班次或使用时间不同;2生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响;3对温、湿度控制要求差别大;4洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊;5净化空调系统与一般空调系统,6系统风量过大的净化空调系统。温湿度无尘室检测范围
检测仪器的维护和保养也是确保检测工作顺利进行的关键。定期对仪器进行清洁、校准、更换电池等维护工作,能够延长仪器的使用寿命,保证仪器的性能稳定。当仪器出现故障时,应及时进行维修,并在维修后重新进行校准,确保仪器正常工作。无尘室检测工作需要与无尘室的设计、施工和运行管理紧密结合。在无尘室的设计阶段,应根据使用需求合理确定检测项目和检测标准;在施工阶段,应确保各项设施和设备符合检测要求;在运行管理阶段,应通过定期检测及时发现问题并进行整改,形成一个闭环的管理体系。企业应建立完善的无尘室检测档案,便于追溯和管理。江苏半导体净化车间无尘室检测目的无尘室检测中的常见问题及解决方法(二)——温湿度不稳定温湿...