5.2.1洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时,应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。5.2.2工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉,宜分别设置人员人口、物料入口和设备出入口,并应在各自的人口处设置相应的净化设施。5.2.3在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下,空气洁净度严格的洁净室(区)宜靠近空调机房布置;空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空间。洁净室环境无尘室检测第三方检测机构

4.3.3洁净室(区)内应少分隔,但下列情况应予分隔:1按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;2在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间;3生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备,宜分隔设读个房间。4.3.4洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的的需要。安徽国内无尘室检测第三方检测机构空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气,其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统,应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素,经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统,除应符合本规范外,还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时,比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部,比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。
应检查产品合格证、出厂检验报告,其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据,不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查,内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠,转动是否正常;带装饰网或阻漏层的,装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。应检查产品合格证、出厂检验报告,其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据,不得以过滤器所属类别定义数据代替。2应进行外观检查,内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠,转动是否正常;带装饰网或阻漏层的,装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。利用高速洁净气流吹落进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。

16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定:在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时,除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外,还应在系统和该装置正常运转条件下,检测室内臭氧浓度。应按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定:当对新风效果作细致确认时,可在风系统正常运行、室内处于动态条件下,于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度,按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10%的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时,可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测,结果应符合设计要求或双方商定的标准。一般正压无尘室比较常见,就是让室内的空气压力大于室外的压力。上海半导体净化车间无尘室检测公司
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。洁净室环境无尘室检测第三方检测机构
12.2.1排烟管道的安装试验应符合本规范第5章的有关规定。12.2.2排烟管道的隔热层应采用厚度不小于40mm的不燃绝热材料。12.2.3砖、混凝土风道的制作应保证管道的气密性,灰缝应饱满,内表面水泥砂浆面层应平整。12.2.4送风口、排烟口的固定应可靠,表面应平整、无变形、调节灵活。排烟口距可燃物或可燃构件的距离不应小于1.5m。排烟口安装时不应影响防倒灌设施正常发挥作用。排烟口应安装板式排烟口,不应漏风。12.2.5排烟风机的安装应符合下列规定:1当**排烟风机设在混凝土或钢架基础上时可不设减振装置;若需设置减振装置,则不应使用橡胶减振装置。2排烟风机宜安装在该系统比较高排烟口之上,并宜安在机房内,机房与相邻部位隔墙应符合防火要求。洁净室环境无尘室检测第三方检测机构
检测仪器的维护和保养也是确保检测工作顺利进行的关键。定期对仪器进行清洁、校准、更换电池等维护工作,能够延长仪器的使用寿命,保证仪器的性能稳定。当仪器出现故障时,应及时进行维修,并在维修后重新进行校准,确保仪器正常工作。无尘室检测工作需要与无尘室的设计、施工和运行管理紧密结合。在无尘室的设计阶段,应根据使用需求合理确定检测项目和检测标准;在施工阶段,应确保各项设施和设备符合检测要求;在运行管理阶段,应通过定期检测及时发现问题并进行整改,形成一个闭环的管理体系。企业应建立完善的无尘室检测档案,便于追溯和管理。江苏半导体净化车间无尘室检测目的无尘室检测中的常见问题及解决方法(二)——温湿度不稳定温湿...