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因此，即使外腔体10与内反应腔20在气路上相互连通，但外腔体10中的污染物也很难进入到内反应腔20中，从而可以保证内反应腔20始终保持清洁的工艺环境。由此，外腔体10与所述内反应腔20可共用一套抽真空系统。由于外腔体10与内反应腔20之间应属于相互连通的气路环境，因此，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20也同时进行抽真空处理。本实施方式中，自动门设置于所述第二侧壁22上，所述外腔体10内设有传送装置13，所述工件自所述传送装置13经所述自动门23传递至所述内反应腔20中。自动门控制器控制自动门的启闭。抽真空完成后，自动门控制器检测传送装置上是否有工件存在，经检测若有工件存在，则控制自动门打开，工件在传送装置的作用下进入内反应腔中;然后自动门控制器再控制自动门关闭。可以理解的是，传送装置包括转动轴和套设在转动轴上的传送带，以及驱动转动轴旋转的驱动机构，例如电机。其中，传送带的设置高度与内反应腔中的工件反应载台相对应。继续参照图2，为了保证作为工艺区域的内反应腔20的环境温度恒温可控，第二底板21和/或所述第二侧壁22上设有用于对所述内反应腔20进行控温的温控装置，以使内反应腔20内的温度始终处于所需的工艺温度范围内。 上海防紫外线真空镀膜设备厂商品质真空镀膜设备，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以电话联系！

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