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罗茨泵机组（罗茨泵+前级真空泵）真空泵机组按用泵类型分为“油泵系统”，“干泵系统”。按用泵数量分为“单级型”，“双级型”。真空机组一般由真空泵、控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。 安徽真空泵维修电话我们的真空泵适用于各种工艺需求，能够处理不同类型的气体和液体。

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