而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。1.特种气体(Specialtygases):指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体、标准气、**气、医用气、焊接气、**气等,***用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2、标准气体(Standardgases):标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现、保存和传递量值的基本作用,在物理、化学、生物与工程测量领域中用于校.d([准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值。乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。一氧化碳标准气体批发价格
CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases):蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases):在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。福建工业气体供应商四川一氧化氮标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
通过适当的方法配制成所需浓度的标准气体标准气体选择编辑标准气体主要用于校准气体分析仪器,评价气体分析方法以及对未知含量的混合气体进行标定并赋予量值.为了保证标准气体在使用过程中尽量减少引人的不确定度,以获得准确可靠的数据.作为用户则应当树立标准气体就是计量器具的观念,明确选择标准气体的原则,以保证测量数据的可靠.一般而言,在选择标准气体时有以下四点要求:1、编号确认该标准气体是否具有定级证书和生产许可证,并持有**质量监督检验检*总局的统一编号,一级标准气体为GBW纟XXXXXX,二级标准气体为GBW(E)XXXXXX,必要时可向**标准物质管理**会办公室查询。2、组成标准气体的组成与被测样品相同或相近,对某些原理的分析方法(有些物质不同的分析方法因其分析的机理不同,分析结果有所差异)组成不同会响应值产生差异,但是出于被测对象的纷繁及标准气体品种所限,有时难于做于完全一致,在这种况下应选择组成尽可能相近的标准气体,并通过可告方法考核其定量的准确性。3、含量仪器分析一般为相对测量,通常采用标准曲线法进行定量,在确定标准曲线通过原点并成线性以后,也可以用单点校正法定量,但含量**好与被测样品含量相近。
建议根据不同的气体性质采用铜管、不锈钢管、四氟管而对于含硫的标准气和样品气**好采用内涂石英的不锈钢管。2、样品气的置换,由于标准气都要经过减压器和管线后才能取样,要准确取样必须将减压器和管线进行充分的置换,这种置换不是简单意义上的吹扫。因为减压器的死体积很大,不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上,每次将减压器里的气体排尽,然后再吹扫系统才能正确取样。3、进样管线的气密性,进样管线的泄漏,对样品的数据的准确性有很大影响,对低浓度氧气的影响更大。所以一定要严格检查取样管线的气密性。4、试图从标准气体钢瓶中把标准气取到取样袋或其他容器中,然后再从容器中取样分析,是**不可取的,这样造成了二次污染。使得样品气的数据不能真实的表现出来。重庆甲烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
[2]标准气体配制分类编辑在火灾自动报警器、呼吸器、传感器和火灾现场易燃、易爆、**、有害气体快速检测仪器及其它消防产品的研究、开发和生产中,经常需要配制一系列物质的标准气体,用以对产品进行检测和校准;在火灾现场易燃、易爆、**、有害气体物质快速检测中,需要一定浓度的标准气体,作为制作标准色列或浓度标尺的标准;[3]在火灾原因调查中,研究和应用一种气态物证的分析鉴定方法时,需配制一定浓度的被检测物质的标准气体,以试验不同采样仪器的采样效率或不同吸收液的吸收效率和鉴定方法的准确性、可靠性。因此,配制一定浓度的标准气体是消防产品研究、开发、生产和消防工作的一个重要环节。而标准气体的配制又不同于液体标准物质的配制,有一定的难度。因此,本文将重点介绍几种所用仪器,设备简单,易于操作,特别适用于消防产品研制、生产和消防实际工作的标准气体的配制技术。标准气体是指气体状态的标准参比物质,包括高纯度标准气体和混合标准气体,配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。四川医用气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川一氧化碳标准气体
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这样可以减小瓶壁的吸附作用。如果需要浓度更低的气体,在大瓶子中配气后,可用抽真空法再进行稀释。例如,将大瓶子中的气体压力抽至原有压力的一半,然后再充进干净空气至原来的压力,即可得到原来浓度一半的标准气体。2.注射器配气法对于需气量较小的工作,用注射器配气是很方便的。取两个大小不等的注射器,大注射器一般用100毫升的,小注射器根据配气情况而定。配气时,在大注射器中放一小金属片,将活塞推入,再用小注射器取一定量的原料气,将两注射器按图2连接,把小注射器的气体推入大注射器,去掉小注射器和橡皮帽,抽动大注射器活塞,用干净空气将气体稀释到100毫升,摇动注射器中的金属片,使气体混合均匀,即得到较低浓度的标准气体。稀释后的浓度可根据稀释前后气体体积计算出来。如果一次稀释达不到要求,还可进行第二次、第三次稀释…。进行再次稀释时,只要将大注射器中配好的气体推出一部分,然后吸入干净空气进行稀释,即可得到更低浓度的标准气体。740)">3.塑料袋配气法用100毫升注射器或通过湿式流量计将一部分空气注入塑料袋内,然后按图3连接一个事先装入原料气的气体定量管。继续通气将定量管中的原料气压入塑料袋中,稀释至一定体积。用手揉捏塑料袋,使气体混合均匀。一氧化碳标准气体批发价格
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