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微型化真空系统需要相互协调的全微型化元器件，其中比较主要的外围器件就是真空泵，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分为气体输运泵和气体捕集泵。输运泵通过气体不断吸入和排出达到抽气目的，常见的有膜片泵、旋片泵、扩散泵和分子泵；捕集泵通过气体吸附剂或低温表面吸附、捕集气体实现抽气，主要包括离子泵、升华泵和低温泵等[9]。宏观真空泵抽气速率高、极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工工艺兼容性原因，可以预期到其性能会下降。同时研究表明，并非所有宏观真空泵都适合微型化。活塞泵流量不变，而扬程可随着装置管路特性变化。即扬程提高，而流量不变，只在高度区，流量稍有减少。附近真空泵量大从优

吸附物体，也叫真空吸附，实际上是利用微型真空泵对吸盘抽真空后吸住物体，从而起到悬挂、固定、移动物体等作用。科研、医疗、实验室、印刷、仪器仪表等行业常常用来吸附芯片、电池、相纸、玻璃等。工作原理：把真空泵抽气口通过管子、吸盘等元件与被吸附物体连接，用真空泵对吸盘抽真空，使吸盘与物体接触区域，气压由常压变为负压，利用外界大气压和这个负压之间的压差作用，达到吸附住物体的目的。体积小适合狭窄空间，性价比高；微型真空泵SVBY7506，负压75kPa，峰值流量6L/min，PWM调速调流量；采用更耐用、更耐磨的品质无刷电机，寿命长，可长时间连续运转。附近真空泵量大从优尽量在无灰尘及脏物的清洁场所使用无油真空泵，如果确实无法保证，请在进气口使用合适的过滤装置。

无油真空泵的优缺点无油真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等。无油真空泵耐用性好，是一种应用范围非常获得真空的基本设备。尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室常备的设备之一。因此在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而选的真空泵就要高于需求的真空度，否则达不到抽真空的要求，就会达不到工作要求。其次是无油真空泵抽气速率，选型时就要稍大于所需求的抽气速率，这样就能更好的满足需要。看抽取的气体有无腐蚀性，有腐蚀的气体会腐蚀泵，必须要用特殊的材质才能满足需求。

灌装设备之蠕动泵：蠕动泵（PeristalticPump）又称软管泵，是一种新型的工业用泵，主要由三部分组成：驱动器，泵头和软管。流体被隔离在泵管中，可快速更换泵管，流体可逆行，可以干运转。蠕动泵就像用两根手指夹挤充满介质的软管，随着手指向前滑动，管内形成负压，介质也随之向前移动。蠕动泵和软管泵正是利用这个原理，只是由滚轮或压靴取代了手指，依靠数个滚轮通过对弹性软管交替挤压和释放来泵送流体。驱动器是实现蠕动泵功能的控制部分，一般由电机（步进，伺服）、驱动、控制板、电源等组成。泵头是完成流体输送的机械装置，实现连续挤压软管的功能，一般由上压块、支撑、泵壳、滚轮装置组成。其中，上压块主要用于压紧软管；支撑和泵壳主要用于固定滚轮装置；滚轮装置作为连续运转部件，用于挤压软管。真空泵性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵具有低功耗，可集成优势对便携式系统和高真空微系统十分必要。

蠕动泵，英文翻译为peristaltic pump。蠕动泵行业中的称呼有：蠕动泵、计量泵、恒流泵、软管泵、软管蠕动泵。从输送的精度方面说属于计量泵、恒流泵。从产品构造来说属于软管泵；从产品的原理来说属于蠕动泵。 蠕动泵的工作原理是通过挤压软管实现液体的输送，因此这种泵输送的液体在泵内只经过软管，没有死角，因此极易清洗，不会产生残留，非常适合于需要洁净输送的用途。再因为蠕动泵每转一圈都会输出固定量的流体，因此蠕动泵也非常精细，可以通过调速和计时的方式实现精确的计量输送。蠕动状态的软管就像人的肠道一下推动管内的流体，因此不会对流体产生挤压和破坏，不像离心泵的高速叶轮会对流体中的固体产生叶轮旋切。特别适合输送类似橙子果粒一样的物料。蠕动泵工作时滚轮或转子沿软管长度方向滚动，滚动过程中挤压软管，使软管内形成自吸压力将液体吸进软管中。天津真空泵规格尺寸

免维护，使用寿命相对较长，无油活塞真空泵不需要这样的维护，可以减少了工作人员的维护工作量。附近真空泵量大从优

无油活塞式真空泵在呼吸机的应用（以下简称：活塞泵）1、电动电控呼吸机（电动/电子或计算机呼吸机）它通过电子和微泵/折囊/活塞式真空泵结构，将单一或混合气体吸入腔内，再推入肺内，一般只接氧气源，不需要或也可以接压缩空气，属于中档机。按照功能可分类为：呼吸机、急救呼吸机，通常呼吸机属于机。气动电控呼吸机一般都由活塞泵驱动周围气体进入呼吸机，体积较大，持续工作时间较长，功能比较多，每种品牌都有独特功能，但都是大同小意，比如纽邦的自动呼气触发灵敏度。附近真空泵量大从优