使用真空泵基础

微型化真空泵技术及发展本节简要介绍一些研究进展较为明显，或当前关注度较高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵。2.1微型化膜片泵典型的单级膜片泵通常由一个腔体、一个泵膜、两个阀门和一个致动器组成，它利用泵膜的往复运动营造腔体容积的周期性变化，利用单向阀门控制气体流向，实现气流的定向引入、输出。膜片泵的原理、结构相对简单，膜片材料可使用硅、电介质和多种聚合物，驱动机制可采用静电、压电、电渗、气动和磁力等[16]。关键部件的材料及加工都兼容MEMS工艺，使得膜片泵比较容易和其他微型器件集成，构建片上型系统[17]。无油真空泵是一种无需任何油作润滑既能运转工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作容易、维护方便。使用真空泵基础

蠕动泵分类：蠕动泵的操作和使用，分为：1.基本型蠕动泵：具备蠕动泵的基本控制功能，主要是控制蠕动泵的电位器调速。可按键调节、数码显示转速、启停、正反转、转速调节、掉电记忆、外控输入等功能，还设有全速键，可实现作用物地快速填充或是排空。2.流量型蠕动泵：除具备基本型功能之外，还增加了流量显示、通讯、定时定量等功能。此类蠕动泵能通过校正功能来保证流体较高的精度，还可设置分配的参数，以此来实现自动分配灌装。3.分配型蠕动泵：分配型的蠕动泵其实与流量型的非常相似，还具备了历史参数储存能，可及时调取常用参数设置，既方便又快捷。4.工业型蠕动泵：此类蠕动泵采用大扭矩，免维护的直流无刷电机驱动，主要应用于工业生产过程中大流量传输的转速泵。5.防爆型蠕动泵：大扭矩，免维护交流减速电机驱动，可以变频器调速。在传播粘稠液体或者传输对剪切特殊流体的时候效果更佳。6.定制型(OEM)蠕动泵：体积小，适合精度不高的各种环境下的小流量液体输送。客户可根据自身设备的需求,设计不同的蠕动泵驱动电路配套使用。7.手持型蠕动泵：可实现野外取样、在线监测取样等，能充分保证取样的洁净，可采集高粘度液体、含颗粒液体分层取样，操作简便且易于清洗。陕西TCS真空泵微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。

步进电机蠕动泵顾名思义是采用步进电机驱动的蠕动泵。步进电机具有良好的启停和反转响应、较宽的转速范围和可靠性等。而采用步进电机的蠕动泵具有体积小，使用时间长，流量稳定以及精度较高等。蠕动泵是很受欢迎的流体传输设备，应用领域多方面。蠕动泵常被用户分为流量型蠕动泵、基本型蠕动泵、分配型蠕动泵、紧凑型蠕动泵等。部分用户会按照电机类型分类：步进电机蠕动泵、直流电机蠕动泵、伺服电机蠕动泵、防爆电机型蠕动泵等。

蠕动泵提高工作效率的小技巧：蠕动泵停止工作时松开泵头压管模块蠕动泵在停止工作后松开压管模块能够比较大限度的延长蠕动泵软管的使用寿命。众所周知，蠕动泵是通过反复挤压的蠕动泵软管，蠕动泵软管回弹后所产生的吸力使得所传输的流体向前（向后）运动，达到流体传输的目的。然而如果蠕动泵在停止工作后不松开压管模块，回使得蠕动泵软管长时间处于被挤压状态，会造成蠕动泵软管弹性流失，使用寿命受损。因此，蠕动泵停止工作后应该及时松开压管模块，让蠕动泵软管处理自然状态。蠕动泵符合生化、医学领域使用的卫生标准；具有良好的自吸能力（非虹吸），可防止回流。

柔性叶轮泵是一种泵设计，由圆形橡胶叶轮和安装在外壳内的多个柔性橡胶叶片组成。外壳比叶轮叶片小，这意味着将叶片插入泵头，叶片必须弯曲，在每个叶片之间形成密封和腔室。泵头然后包含几个像阀门一样操作的腔室，使泵自吸，以及一个正排量泵。柔性叶轮泵有许多好的地方:高流量，可在低粘度流体下以全电机速度运行。可以以不同的速度运行以适应不同的粘度。由于泵是正排量的，它的压力也将是恒定的，并且流量与速度成正比。在任何位置工作。该泵的性质意味着它是机器制造商使用的优先泵，因为它几乎可以安装在任何位置并且仍能按预期工作。温和的泵送动作确保流体的稠度不受剪切力的影响，例如剪切力。牛奶、奶油、触变性液体。流量也是非脉动的，这意味着可以使用流量计非常准确地测量输出。工业型蠕动泵：蠕动泵采用大扭矩，免维护的直流无刷电机驱动，应用于工业生产过程中大流量传输的转速泵。国内真空泵常见问题

蠕动泵就像用两根手指夹挤充满介质的软管，随着手指向前滑动，管内形成负压，介质也随之向前移动。使用真空泵基础

蠕动泵市场发展空间：蠕动泵又称为计量泵、恒流泵等，是一种液体传输分析仪器设备，主要由驱动器、泵头、泵管三部分组成。蠕动泵主要用于输送具有粘稠、强腐蚀性、纯度高、带颗粒等特征的介质，其具有结构紧凑、易于安装、操作便捷、精度高、维修费用低等优势，在化工、采矿、食品、医疗设备检测、水处理、造纸、冶金等领域应用较广。蠕动泵产品丰富，根据类型不同，蠕动泵可分为基本型蠕动泵、防爆型蠕动泵、流量型蠕动泵、分配型蠕动泵、手持型蠕动泵、定制型（OEM）蠕动泵等；根据应用领域不同，蠕动泵可分为实验用蠕动泵、工业用蠕动泵、医用蠕动泵等。总体来看，蠕动泵下游需求增长动力主要来源于医学领域，其次为水处理领域。使用真空泵基础