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因为混合效果直接关系到化学反应速率和晶圆抛光速率；混合过程中的任何缺陷都会对可制造性和可靠性产生负面影响。尽管制造点(POM)的浆料控制很严格，但后续过程（包括运输、处理和过滤）会影响化学特性，因此需要对浆料进行连续监测，直到抵达使用点(POU)为止，以确保实现高产量。这样就需要有效、快速、可靠、准确且经济高效的计量工具和方法，因此许多制造厂选择使用折光仪。如何借助折射率测量技术来提高生产质量折射率(RI)测量技术是一种不消耗浆料的连续在线测量方法，可帮助制造厂在传递工艺相关的实时信息时迅速识别出浆料成分错误，从而减少存在风险的晶圆数量。CMP浆料携带纳米颗粒，其固体含量为1-30%（取决于浆料类型），因此对其中的过氧化氢浓度进行分析极具挑战性。但通过对特定浆料的折射率及温度特性进行标定，RI测量法可以不惧这些困难条件，成功测量出钨浆料中的过氧化氢浓度并将误差控制在±0.03%（重量）以内。此外，HMT3303F0A005BCAF120A0AAABCA1 HMT3303G0A005BCAF101A0AAABDA1 HMT3303Q0A005BCAF110A0AAABEA1深圳代理商。上海温湿度探头温湿度传感器原产地

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