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MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。 荷兰美国HI-TOUCH流量控制器原厂日本小岛KOFLOC流量控制器 DF-350C-0艾博格AALBORG气体流量控制器 GFC17A(AIR,100slpm3665(30SLPM,C2H2型号.

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