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（三）空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。压缩气体分析（油份、水份、颗粒、需氧菌）。江苏排风柜检测值得推荐

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。浙江排风柜检测认真负责技术实力：全国多家自建实验室分支，检测更便捷。

（二）洁净室制造竣工验收的调试工作1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越***，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。换气次数：根据洁净室总风量除以法净室的容积求得运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。

a.首先应对测试仪器、培养皿表面进行严格消毒，采样器进入被测房间时，先用消毒房间的消毒剂灭菌。用于5级洁净房间的采样器宜一直放在洁净房间。b.采样者应穿戴洁净服双手要消毒。c.开动真空泵抽气使仪器中的残余消毒剂蒸发时间不少于5min，并调好流量转盘转速。关闭真空泵放入培养皿盖好盖子后调节采样器。d.置采样口于采样点后依次开启采样器、真空泵、转动定时器、根据采样量选定采样时间。全部采样结束后，将培养皿倒置于30-35℃恒温培养箱中，培养时间不少于48h。e.用肉眼直接计数，然后用5-10倍放大镜检查是否有遗漏，若平板上有两个或两个以上的菌落重叠分辨时，仍以两个或两个以上菌落计数。传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或洁净室与洁净室之间的小货物传递。实验室环境检测服务至上

检测是验证洁净室是否达标的一个指标。江苏排风柜检测值得推荐

    -连接氮气，检查氮气供气压力为50psig()。，等几分钟后，气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键，使光标停留在“上游80%浓度检测”，按“确认”;观察上游浓度数值，调节读数在20-80之间，读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键，调节参数值至测定的上游浓度值。?扫描过滤器表面及边框，距滤器表面距离约3cm。?采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp，使用3cm*3cm正方形采样头时，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头，Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度，Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。?将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键，使光标停留在“上游80%浓度检测”，按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。?关闭气溶胶按钮。?氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。?关闭N2。?关闭电源。表1高效过滤器完整性测试操作步骤局部层流/房间百级（高效检漏）非层流洁净室（高效检漏）A.拆除层流罩B.额定风速确定测量点距过滤器出风面约150-300mm测试点数取测试面积10倍的平方根，且不少点。江苏排风柜检测值得推荐