深圳真空泵设备

通常总是不加区分地把微型泵中的气体采样泵和微型真空泵简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。气体采样泵有：PM系列（具体型号如：PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503）；微型真空泵有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。真空泵抽速的抽气量一般单位用L/S和m³/h来表示。深圳真空泵设备

对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定，把它与泵的技术参数"进气口允许较大阻力"Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定，比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大)，只能在微型真空泵范围内选型：在泵的抽气端要接很长的管道，或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭，或管道内孔很小(比如小于φ2毫米)；在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件；泵抽气口与密闭容器连接，或该容器虽未密闭但进气量较小；泵抽气口与吸盘连接，用于吸附物体(如集成块、精密工件等)；⑤泵的抽气端与过滤容器相连，容器口放置滤网，用于加速液体过滤。深圳真空泵设备水环真空泵是一种粗真空泵。

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

对真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，但所用真空泵结构设计已定型，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外，要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定，建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽，这样蒸汽压力就不会出现波动，真空泵性能稳定。对循环冷却水要求的研究：冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。真空泵的传动方式，真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S，m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。如果真空泵中的如果物料含水或者是有机溶剂，需要加液态水过滤器和冷凝器，起到一个过滤的作用。往复真空泵厂商

真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。深圳真空泵设备

从国外罗茨真空泵生产情况来看，国外几家大公司，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5％，这5家总计才20％，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。深圳真空泵设备