在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污真空箱不需连续抽气使用时,应先关闭真空阀,再关闭真空泵电源。温州加热功率比例可调真空烘箱PID调节
操作流程1、将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上,推入干燥箱内;2、关紧箱门,放气阀,箱门上有螺栓,可使箱门与硅胶密封条紧密结合;3、将真空泵与真空阀连接,开启真空阀,抽真空;4、依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准;5、抽完真空后,先将真空阀门关闭,如果真空阀门关不紧,请更换,然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生)6、本所物料的干燥周期,每隔一段时间观察一下,历力表,温度表,和箱体内的变化,来处理。如果压力表指数下降,则可能存在漏气现象,可再进行抽气操作;7、干燥完成后,先将放气阀打开,放出里面气体,再进行打开真空干燥箱箱门,取出物料。防止氧化真空烘箱定制经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。
本实用新型的工作原理:首先将不同热量需求的原料放置在相应的支撑板13上,然后将热水源与每一个进水管6以及出水管8相连通,热水同时从每一个进水管6进入到每一层对应的导流管10内,并对支撑板13上的原料进行烘干,每一个导流管10内的热水经对应的出水管8流出,并回到热水源中进行加热以便再次循环使用。本实用新型的有益效果:(1)本实用新型结构简单,操作方便,可对不同原料进行加热烘干,烘干效果好、烘干效率高、适用范围广。(2)本实用新型中每一个进水管6与上层对应导流管10之间、上下相邻两个导流管10之间、下层每一个导流管10与对应出水管8之间均采用螺纹式快速连接,操作简单,使用方便,连接牢靠,保证了其内热水的稳定流动,从而提高了烘干效率。(3)本实用新型在每一个进水管6、出水管8以及导流管10内均沿其长度方向错位竖直设有上隔板11和下隔板12,用于降低热水的流速,从而提高了烘干效果。
COB生产流程:晶粒进料→晶粒检测→清洗PCB→点胶→粘晶粒→烘烤→打线→过境→OTP烧录→封胶→测试→QC抽检→入库。其中烘烤这一环节是很重要的一步之一,烘烤的目的是将前一道的工序中的胶烘干,使得IC在PCB上粘牢,以确保下一道工序中IC在打线过程中不会移动。不同的胶需要的烘烤时间和温度也是不一样的。缺氧胶烘烤温度90度烘烤10分钟,银胶烘烤温度120度烘烤90分钟,红胶烘烤温度120度烘烤30分钟。无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂胶后的软烘焙Softbaking),曝光、显影后的坚膜硬烘(Hardbaking)等工艺,适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。 真空箱应在相对湿度≤85%RH,周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。
塑料制品的热处理是指将成型制品在一定温度下停留一段时间而消除内应力的方法。热处理是消除塑料制品内取向应力的比较好方法。对制件进行热处理,可以使高聚物分子由不平衡构象向平衡构象转变,使强迫冻结的处于稳定的高弹形变获得能量而进行热松弛,从而降低或基本消除内应力。常采用的热处理温高于制件使用温度10~20℃或低于热变形温度5~10℃。热处理时间取决于塑料种类、制厚度、热处理温度和注塑条件。一般厚度的制件,热处理1~2小时即可,随着制件厚度增热处理时间应适当延长。提高热处理温度和延长热处理时间具有相似的效果,但温度的效更明显些。热处理方法:1)是将制件放入水、甘油、矿物油、乙二醇和液体石蜡等液体介质中,2)放入空气循环烘箱中加热到指定温度,并在该温度下停留一定时间,然后缓慢冷却到室温。实验表明,脱模后的制件立即进行热处理,对降低内应力、改善制件性能的效果更明显。此外,提高模具温度,延长制件在模内冷却时间,脱模后进行保温处理都有类似热处理的作用。 定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。上海整体成型硅橡密封圈真空烘箱调试调整
进口数显压力表,真空控制精度高,稳定性高。温州加热功率比例可调真空烘箱PID调节
烘箱结构真空烘箱能在较低温度下获得较高的干燥速率,热量利用充足,主要合用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒办理,干燥过程中任何不纯物无混入,本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会破坏。加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。在真空条件下,溶剂沸点明显降低,箱内保持温度恒定,实现样品在较低温度下快速干燥,同时供给一个无尘、无旋涡、平和的干燥环境,还使得溶剂的蒸汽易于采集,排放或再利用。空气循环系统采纳双电机水平循环送风方式,风循环平均高效。温州加热功率比例可调真空烘箱PID调节