镀膜机腔体

真空腔体操作前的准备工作：

1、检查水冲泵（前级泵）水箱液位是否达水箱的3/4以上，若不足则补足。

2、检查水箱内所使用的水是否清洁，不允许用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，真空腔体增加水泵叶轮磨损、增加电机负荷造成故障，影响水冲泵使用寿命。

3、检查中间泵及主泵泵体内的润滑油油面高，须达油窗的3/4以上，同时检查润滑油的颜色，出现乳白色或黑色杂质较多则通知机修替换润滑油。

4、真空腔体检查中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。

5、检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。

6、检查机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。

7、检查机组触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常（中级泵启动入口压力为0.065Mpa以上，主泵启动入口压力为0.085Mpa以上）。

8、待以上事项检查完毕确认无误后方可启动真空腔体机组。 不锈钢真空腔体具有抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低等优点。镀膜机腔体

不锈钢真空腔体采用304不锈钢，材料厚度从25mm到35mm，涉及多种规格。产品加工过程包括油磨、等离子切割、矫平、机加工等工序，攻破技术壁垒、解决了加工难题。不锈钢真空腔体的几种表面处理方法：1、喷丸：喷丸即使用丸粒轰击工件表面并植入残余压应力，提升工件疲劳强度的冷加工工艺。2、喷砂：喷砂是利用高速砂流的冲击作用清理和粗化基体表面的过程，即采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料（铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海南砂）高速喷射到需要处理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形状发生变化。甘肃真空烘箱腔体真空腔体是可以让物料在真空状态下进行相关物化反应的综合反应工具。

真空腔体釜体、釜盖的安装及密封：釜体和釜盖采用垫片或锥面与圆弧面的线接触，通过拧紧主螺母使它们相互压紧，达到良好的密封效果。拧紧螺母时，须对角对称，多次逐步加力拧紧，用力均匀，不允许釜盖向一边倾斜，以达到良好的密封效果。在拧紧主螺母时，不得大于规定的拧紧力矩40~120N.M范围，以免密封面挤坏或过负荷磨损。对密封面应加以爱护，每次安装之前用比较柔软的纸或布将上下密封面擦拭干净，注意不要将釜体、釜盖密封面碰出痕迹。若合理操作，可使用上万次以上。密封面破坏后，需重新加工维修可达到良好的密封性能。拆卸真空腔体釜盖时应将釜盖上下缓慢抬起，避免釜体与釜盖之间的密封面相互碰撞。如果密封是采用垫片（四氟、铝垫、铜垫、石棉垫等）密封，通过拧紧主螺母便能达到良好的密封效果。阀门、压力表的安装通过拧紧正反螺母，即达到密封的效果，联接两头的圆弧密封面不得相对旋转，对螺丝联接件在装配时，均须涂抹润滑剂或油料调和的石墨。阀门的使用：针形阀系线密封，需轻轻转动阀针，压紧密封面即能达到良好的密封性能，禁止用力过大，以免损坏密封面。

真空腔体使用时的常见故障及措施：真空腔体是可以让物料在真空状态下进行相关物化反应的综合反应工具。具有加热快、抗高温、耐腐蚀、环境污染小、自动加热等几大特点，是食品、生物制药、精细化工等行业常用的反应设备之一，用来完成硫化、烃化、氢化、缩合、聚合等的工艺反应过程。

真空腔体使用时常见的一些故障及解决办法如下：

1、容器内有溶剂，受饱和蒸汽压限制。解决办法：放空溶剂，空瓶试。

2、真空泵能力下降。解决办法：真空泵换油（水），清洗检修。

3、真空皮管，接头松动，真空表具泄漏。解决办法：沿真空管路逐段检查、排除。

4、仪器作保压试验，在没有任何溶剂的情况下，关断所有外部阀门和管路，保压一分钟，真空表指针应不动，表示气密性良好。解决办法：（1）重新装配，玻璃磨口擦洗干净，涂真空硅脂，法兰口对齐拧紧；（2）更换失效密封圈。

5、真空腔体的放料阀、压控阀内有杂物。解决办法：清洗。 真空腔体是建立在低于大气压力的环境下，以及在此环境中进行工艺制作、科学试验和物理丈量等所需要的技能。

真空腔体几种表面处理方法：化学抛光：化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解，从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备，可以抛光形状复杂的工件,可以同时抛光很多工件，效率高。化学抛光的问题是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数10μm。电解抛光：电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，Ra>1μm。（2）微光平整阳极极化，表面光亮度提高，Ra＜1μm。真空腔体可以使试验在无氧、无尘、无水和无气的环境下进行实验和加工。广州非标真空设备腔体加工

实验室小型不锈钢真空腔体的功能划分集中，主要为生长区，传样测量区，抽气区三个部分。镀膜机腔体

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