氮气柜采用为电脑自动感应控制,搭配氮气使用,湿度超过设定值时,会自动喷入氮气,当湿度达到设定值后,自动停止,达到保护物品并节省能源的效果。氮气柜具有内置纯度氮气发生器的氮气存储柜或设备。通过控制内部的相对湿度和含氧量浓度,来达到氮气存储防氧化目的。根据应用要求,可配置不同的控制功能。被广泛应用在微电子,半导体等行业。其主要特点有:1、微电脑控制,数码显示温湿度,湿度显示值1%-99%。温度显示值1-99℃。2、智能化节约氮气装置,可节省氮气70%。3、利用后湿度设定在1-60%RH任一湿度范围。4、温湿度传感器采用原装进口品牌,温湿度显示,使用寿命长。湿度设定具有记忆功能,断电后无需再设定。5、配备标准氮气接头,您可以根据您的需要自由设定调节流量,非常简单快捷。6、适合存放对氧气湿度敏感的材料,除湿速度快,5-10分钟可降到≤5%RH。新膜分离技术,电解池催化效率高,产气量大,氮气纯度高。宁波微电脑氮气柜规格尺寸
全功能洁净氮气柜:产品应用:适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象;由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境,只控制湿度及氧含量浓度这块,并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存,同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标:1)洁净等级专业高效洁净过滤装置,滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100(10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下,必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3)降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒,在氮气流量不大于70L/M的情况下,湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机:采用进口无尘室FFU风机,面风速:~;5)静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒,经过干燥2小时后,硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6)柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。宁波高精度传感器智能充氮氮气柜适用范围高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。
氮气柜的产品特点:一、显示方式:进口组件显示器,温湿度同时显示,直观明确,性能稳定。二、柜体结构:氮气柜采用密闭柜体,专业设计气密性佳,存放重物不变形。附脚轮及支架方便移动及定位。多层防锈烤漆处理,防腐性强,耐磨且不易脱落,钢板厚度1.0MM。三、配件氮气柜所用钢制隔板三块,存放重物更安全。四、氮气节约装置:采用微电脑自动感应控制,搭配客户氮气使用,湿度超过设定值后,会自动喷入氮气,当湿度达到设定值后,自动停止。
氮气柜就是通过调节氮气注入柜体,而达到除湿防氧化作用。氮气柜在半导体工厂、晶元晶振工厂及精密组部件工厂都有着较普遍的应用,其主要用于这些精密部件存放时的防潮防氧化保护。对于工厂,这些精密部件的防潮防氧化保存,对于生产的良率及产品的品质都有重要的作用。如果氮气柜在湿度不达标的情况下,对于柜内存放物品的防潮防氧化效果将下降。氮气柜湿度达不到要求,也就是柜内的氮气浓度达不到要求。对于一个有限的密封柜体,其浓度达不到,也就只有“进气”与“出气”两个原因了。“出气”是指柜子的密封性,氮气充入后所逸出的部分了。当氮气柜的逸出量太大时,柜内的氮气浓度就会比较低,也就会湿度低,而无法进行很好的防潮防氧化保护了。“进气”是指氮气柜所充入的氮气量不足。在氮气柜的使用过程中,由于柜门的经常开启,导致开关门逸出的氮量大于充入柜内的氮气量,也就无法达到预期的氮气浓度了。解决办法分两部分,一是柜体的密封性,二是进气量的加大。含高压,高避震性胶条,门框采用钢化玻璃可视窗口,导静电刹车轮。
深冷空分制氮原理:分子筛制氮机工艺流程图深冷制氮不但可以生产氮气而且可以生产液氮,满足需要液氮的工艺要求,并且可在液氮贮槽内贮存,当出现氮气间断负荷或空分设备小修时,贮槽内的液氮进入汽化器被加热后,送入产品氮气管道满足工艺装置对氮气的需求。深冷制氮的运转周期(指两次大加温之间的间隔期)一般为1年以上,因此,深冷制氮一般不考虑备用。而变压吸附制氮只能生产氮气,无备用手段,单套设备不能保证连续长周期运行。膜空分制氮原理:空气经压缩机压缩过滤后进入高分子膜过滤器,由于各种气体在膜中溶解度和扩散系数不同,导致不同气体在膜中相对渗透速率不同。根据这一特性,可将各种气体分为“快气”和“慢气”。当混合气体在膜两侧压力差的作用下,渗透速率相对快的气体,如水、氢气、氦气、硫化氢、二氧化碳等透过膜后,在膜的渗透侧被富集,而渗透速率相对较慢的气体,如甲烷、氮气、一氧化碳和氩气等气体则被滞留在膜的侧被富集,从而达到混合气体分离的目的。氮气发生器,产氮湿度低。湖州监控系统氮气柜监控系统
采用微电脑自动感应控制。宁波微电脑氮气柜规格尺寸
氮气理化性质编辑氮气物理性质氮气在常况下是一种无色无味的气体,熔点是63K,沸点是77K,临界温度是126K,难于液化。溶解度很小,常压下在283K时一体积水可溶解。氮气是难液化的气体。氮气在极低温下会液化成无色液体,进一步降低温度时,更会形成白色晶状固体。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。氮气化学性质由氮元素的氧化态-吉布斯自由能图也可以看出,除了NH4+离子外,氧化数为0的N2分子在图中曲线的低点,这表明相对于其它氧化数的氮的化合物来讲的话,N2是热力学稳定状态结构。氧化数为0到+5之间的各种氮的化合物的值都位于HNO3和N2两点的连线(图中的虚线)的上方。因此,这些化合物在热力学上是不稳定的,容易发生歧化反应。在图中的一个比N2分子值低的是NH4+离子。正价氮呈酸性,负价氮呈碱性。由氮分子中三键键能很大,不容易被破坏,因此其化学性质十分稳定,只有在高温高压并有催化剂存在的条件下,氮气成分可以和氢气反应生成氨。宁波微电脑氮气柜规格尺寸
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