舟山真空泵抽湿真空烘箱监控系统

真空烘箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。该产品有以下特点：  1、长方体工作室，使有效容积达到比较大，微电脑温度控制器，精确控温。温度控制器2、钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体，一目了然。3、箱体闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。4、工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成，确保产品经久耐用。5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行，所以不会氧化。真空箱不需连续抽气使用时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源。舟山真空泵抽湿真空烘箱监控系统

    本实用新型的工作原理：首先将不同热量需求的原料放置在相应的支撑板13上，然后将热水源与每一个进水管6以及出水管8相连通，热水同时从每一个进水管6进入到每一层对应的导流管10内，并对支撑板13上的原料进行烘干，每一个导流管10内的热水经对应的出水管8流出，并回到热水源中进行加热以便再次循环使用。本实用新型的有益效果：（1）本实用新型结构简单，操作方便，可对不同原料进行加热烘干，烘干效果好、烘干效率高、适用范围广。（2）本实用新型中每一个进水管6与上层对应导流管10之间、上下相邻两个导流管10之间、下层每一个导流管10与对应出水管8之间均采用螺纹式快速连接，操作简单，使用方便，连接牢靠，保证了其内热水的稳定流动，从而提高了烘干效率。（3）本实用新型在每一个进水管6、出水管8以及导流管10内均沿其长度方向错位竖直设有上隔板11和下隔板12，用于降低热水的流速，从而提高了烘干效果。苏州真空泵抽湿真空烘箱调试调整干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网。

    本实用新型的一种新型的真空烘箱，其创新点在于：包括箱体、盖板、底板、侧板、连接装置、进水管、出水管和导流管；所述箱体与所述盖板相匹配，且二者之间螺接形成一水平设置的中空长方体结构；在所述箱体的内底面还水平螺接设有底板，且在所述底板的上表面左右两端还竖直对称固定设有侧板；在两个所述侧板之间还呈矩阵依次间隔设有数个导流管，每一所述导流管均为水平设置的中空圆柱体结构，且其两端分别水平延伸出两个所述侧板；上下相邻两个所述导流管的两端之间分别错位通过连接装置密封连接，并形成数个竖直设置的蜿蜒状结构；在上面一层所述导流管的上方还水平间隔设有数个进水管，每一所述进水管均为中空的l形圆管结构，且其短边一端均竖直向上延伸出所述盖板，每一所述进水管的长边一端均依次水平延伸出两个所述侧板，并分别通过连接装置与上面一层对应位置所述导流管的一端密封连接；在下面一层所述导流管的下方还水平间隔设有数个出水管，每一所述出水管均为中空的l形圆管结构，且其短边一端均竖直向下延伸出所述箱体，每一所述出水管的长边一端均依次水平延伸出两个所述侧板，并分别通过连接装置与下面一层对应位置所述导流管的一端密封连接。

    光电元件干燥箱系列是按LED光电元件生产工艺要求制作。也适用于其他电力、电子元器件的老化、固化等烘干工艺。该干燥箱的温度范围、工作室的尺寸和隔层高度、气流的走向以及控制形式、精度都大限度地满足了LED光电元件及相关行业的需求。材料及特点：控温仪表：产品采用综合的电磁兼容设计和人性化的菜单设计，采用了公司自主研发的自适应控温技术进行温度控制，使得设备操作完全傻瓜化，解决了以往PID控制技术需要多次参数整定，温度过冲等弊病，控温效果好。双屏高亮度宽视窗数字显示，示值清晰、直观。微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精确而稳定。超温报警并自动切断加热电源。有定时功能，定时时间长达9999分钟。具有因停电，死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆，来电恢复功能。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特，极大减少了内腔热量的外传。箱体内部结构：置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出，经过干燥物后再被背部的高性能风机吸入，形成合理的风道，能使热空气充分对流，使箱内温度大限度达到均匀。加热时间短，与传统干燥烘箱比加热时间减少50%以上。

    本实用新型的目的是，提供一种保温效果好的真空烘箱，降低设备使用成本，并能高效排出水蒸汽。本实用新型采用的技术方案如下：热对流真空烘箱，包括真空箱体和密封门，真空箱体内壁设置无孔镜面不锈钢板、有孔镜面不锈钢板，这两种不锈钢板组合配对装配，无孔的靠箱体内壁，有孔的在箱体内表面，真空箱体上部和下部都设有氮气进气口。真空箱体顶部设置有孔镜面不锈钢板；无孔镜面不锈钢板与有孔镜面不锈钢板之间距为5—15mm，当部分热量辐射传到无孔不锈钢板后，热量通过有孔不锈钢板上的小孔传到箱体中，持续保持中心温度，达到降低设备功耗的目的。该实用新型与现有技术比具有以下效果：有孔镜面不锈钢板能有效地将板与板夹层中的温度通过小孔辐射到真空箱体中，并形成温度对流，减少热量损失。真空箱体顶部和下部两侧的氮气进气口，能快速将水蒸汽排挤到箱体上部，减少静置的时间，提高生产效率。使用时预先对氮气加热，可减少水珠的形成，尽量多地排出水蒸汽，提高烘干效率。检查真空泵管路及结合处有无松动现象。加热功率比例可调真空烘箱维修维护

箱门可调节式松紧闭合。舟山真空泵抽湿真空烘箱监控系统

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 舟山真空泵抽湿真空烘箱监控系统

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