高温真空烘箱主要是针对各种电子、塑胶、金属.....耐高温性能测试。用于干燥、烘烤、预热各种材料或试片。采用特殊设计之强制循环送风系统,可靠保证工作温度分布均匀度。性能特点箱体结构:整机结构为一体式;真空泵安装:真空泵安装于机器下部面板安装:控制面板安装于机台下方开门方式:单门由右至左开启;可视窗:门上带可视窗,规格W200*H250mm安装带刹车活动脚轮,可任意推动温度控制为PID数显仪表(台**松仪表EM705),单点式控温,可自动演算,PV/SV同时显示,按键设定定时器设定:1秒-9999时(可选择设定小时、分钟、秒)温到计时,时间到停止加热,同时报警提示300度高温真空烘箱技术参数型号:GT-TK-125温度范围:常温+20℃~+300℃内尺寸:500(宽)×500(深)×500(高)mm;(单箱式)外尺寸约:800(宽)×820(深)×1420(高)mm+110轮高,以实物为准内材质为:304#不锈钢板外材质为:冷轧钢板保温材质为:耐高温岩棉,保温效果好控制精度:±℃;显示精度:℃;温度过冲:≤3℃真空感应器为:压力感应;真空度使用范围:真空保压泄漏率:约;真空控制方式为,自动控制,达到上限停止,低于下限启动,循环工作300度高温真空烘箱使用说明超温保护系统:温度失控时。将真空泵与真空阀连接,开启真空阀,抽真空;无尘埃破坏真空烘箱
为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 真空烘箱价格储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行,所以不会氧化。
BPO胶/PI胶/BCB胶固化烘箱要求一、技术指标与基本配置:1、洁净度:Class100级2、氧含量(配氧分析仪):高温状态氧含量:≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量:≤20ppm+气源氧含量3、使用温度:RT~400℃,最高温度:450℃4、控温稳定度:±1℃;5、温度均匀度:150℃±1.5%,350℃±2%以内(空载测试);6、腔体数量:2个,上下布置;单独控温7、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶8、空炉升温时间:1.5h;9、空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时(采用水冷及风冷);10、智能控制系统:PCL+PC工控电脑
真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它的工作原理是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率,热量利用充分,主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒处理,干燥过程中不得有任何杂物混入,本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会损坏。加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准;
真空烘箱由高真空度真空泵,箱体,工作室,电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作,适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑,美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理,配上门上的硅胶密封压垫,保证箱内的气密性,并采用玻璃纤维保温,提供高效绝热,节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧,以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用,具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。广泛应用于医药,冶金,电子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行业。无尘埃破坏真空烘箱
经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。无尘埃破坏真空烘箱
电子元器件烘烤过程中静电防护:集成电路元器件的线路缩小,耐压降低,线路面积减小,使得器件耐静电冲击能力的减弱,静电电场和静电电流成为这些高密度元器件的致命危害。同时大量的塑料制品等高绝缘材料的普遍应用,导致产生静电的机会大增。日常生活中如走动,空气流动,搬运等都能产生静电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感,实际上,集成度高的元器件电路都很敏感。静电对电子元件的影响:1)静电吸附灰尘,改变线路间的阻抗,影响产品的功能与寿命。2)因电场或电流破坏元件的绝缘或导体,使元件不能工作(完全破坏)。3)因瞬间的电场或电流产生的热,元件受伤,仍能工作,寿命受损。外箱体表面采用先进的防静电烤漆,让电子元器件与热风空气摩擦产生的的静电随着外箱体导体泄放到大地。无尘埃破坏真空烘箱
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