全功能洁净氮气柜:产品应用:适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象;由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境,只控制湿度及氧含量浓度这块,并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存,同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标:1)洁净等级专业高效洁净过滤装置,滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100(10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下,必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3)降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒,在氮气流量不大于70L/M的情况下,湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机:采用进口无尘室FFU风机,面风速:~;5)静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒,经过干燥2小时后,硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6)柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。制氮机,是指以空气为原料,利用物理方法将其中的氧和氮分离而获得氮气的设备。柳州国产氮气柜常用知识
全自动氮气柜是利用氮气来达到防氧化防潮目的柜体,密闭柜体本身具有送氮和排气的通路。根据应用要求可配置不同的控制功能,被广泛应用在微电子,半导体等行业。随着防潮科技的不断发展创新,防潮除湿设备越来越出层创新,目前市场上比较流行的防潮设备有电子防潮箱和全自动氮气柜,其中两者的区别:全自动氮气柜主要体现在具有可充氮的功能,其主要作用是用来防潮防氧化的,防潮速度快,对于比较贵重的芯片需要防氧化的物件可以选择氮气柜。电子防潮箱只能防潮不能防氧化,防潮速度与氮气柜比较慢。一个可充氮气是两者的区别,其次区别就是对于湿度控制,电子防潮柜中的中湿度和低湿度都可对湿度进行控制,而氮气柜对于湿度的控制是全自动的,其控湿范围是在1%-60%。两者都具有存储的作用,各有优点和缺点。主要还是根据自己所需的用途挑选。广州国产氮气柜品牌排行远离火种、热源,库温不宜超过30℃。
分子筛空分制氮是七十年代迅速发展起来的一种新的制氮技术。与传统制氮法相比,它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15~30分钟)、能耗低,产品纯度可在较大范围内根据用户需要进行调节,操作维护方便、运行成本较低、装置适应性较强等特点,故在1000Nm3/h以下制氮设备中颇具竞争力,越来越得到中、小型氮气用户的欢迎,PSA制氮受到中、小型氮气用户的青睐。膜空分制氮以空气为原料,在一定压力条件下,利用氧和氮等不同性质的气体在膜中具有不同的渗透速率来使氧和氮分离。和其它制氮设备相比它具有结构更为简单、体积更小、无切换阀门、维护量更少、产气更快(≤3分钟)、增容方便等优点,它特别适宜于氮气纯度≤98%的中、小型氮气用户,有较好的功能价格比。而氮气纯度在98%以上时,它与相同规格的PSA制氮机相比价格要高出15%以上。
制氮机设备特点(1)产氮气方便快捷:先进的技术,独特的气流分布器,使气流分布更均匀,高效地利用碳分子筛,20分钟左右即可提供合格的氮气。(2)使用方便:设备结构紧凑、整体撬装,占地小无需基建投资,投资少,现场只需连接电源即可制取氮气。(3)比其它供氮方式更经济:PSA工艺是一种简便的制氮方法,以空气为原料,能耗为空压机所消耗的电能,具有运行成本低、能耗低、效率高等优点。(4)机电一体化设计实现自动化运行:进口PLC控制全自动运行,氮气流量压力纯度可调并连续显示,可实现无人值守。(5)运用范围广:金属热处理过程的保护气,化学工业生产用气及各类储罐、管道的充氮净化,橡胶、塑料制品的生产用气,食品行业排氧保鲜包装,饮料行业净化和覆盖气,医药行业充氮包装及容器的充氮排氧,电子行业电子元件及半导体生产过程的保护气等。纯度、流量、压力稳定可调,满足不同客户的需要。操作方便,产氮量稳定不衰减。
氮气柜就是通过调节氮气注入柜体,而达到除湿防氧化作用。氮气柜在半导体工厂、晶元晶振工厂及精密组部件工厂都有着较普遍的应用,其主要用于这些精密部件存放时的防潮防氧化保护。对于工厂,这些精密部件的防潮防氧化保存,对于生产的良率及产品的品质都有重要的作用。如果氮气柜在湿度不达标的情况下,对于柜内存放物品的防潮防氧化效果将下降。氮气柜湿度达不到要求,也就是柜内的氮气浓度达不到要求。对于一个有限的密封柜体,其浓度达不到,也就只有“进气”与“出气”两个原因了。“出气”是指柜子的密封性,氮气充入后所逸出的部分了。当氮气柜的逸出量太大时,柜内的氮气浓度就会比较低,也就会湿度低,而无法进行很好的防潮防氧化保护了。“进气”是指氮气柜所充入的氮气量不足。在氮气柜的使用过程中,由于柜门的经常开启,导致开关门逸出的氮量大于充入柜内的氮气量,也就无法达到预期的氮气浓度了。解决办法分两部分,一是柜体的密封性,二是进气量的加大。氮气经过控制系统,多点分散供气,氮气可根据设定值自动切断和打开供应 。东莞定制氮气柜维修维护
采用微电脑自动感应控制。柳州国产氮气柜常用知识
氮气发生器的主要特点:1、程序控制氮气发生器的控制系统采用芯片。是全部工作过程均有程序控制完成。自动恒压,恒流,氮气流量可根据用量实现0-300ml/min全自动调节。2、工艺先进电解池采用立式单液面双阴极。新膜分离技术,催化层使用PCAN载体及贵金属催化物,使电解池催化效率高,产气量大,氮气纯度高,电解池出厂前经过100小时以上高压,大电流老化试验,使电解池性能和工作状态极为稳定。3、三级催化除电解池中两级催化外另有第三极催化,催化剂选用新型贵金属,使输出的氮气含氧量小于3ppm。4、产氮湿度低。氮气发生器采用了超高分子量渗透麽分离技术及有效的除湿装置,因而降低了原始湿度,并能在停机后自动排出水分。氮气发生器采用了金属聚合物除湿及两级吸附,使氮气纯度大提高。5、操作方便免运输钢瓶之劳,省搬运钢瓶之苦,使用是只需打开电源开关即可产氮,可连续使用,也可间断使用,产氮量稳定不衰减。6、氮气发生器安全可靠配有安装装置,灵敏可靠。柳州国产氮气柜常用知识
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