洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了,所以必须有±,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好温度范围为35—45%。气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。 洁净室里的配件有哪些?上海中沃知道。湖州洁净室定做价格
单向流洁净室的原理和特性⑴定义单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。⑵原理单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。要保证活塞作用的实现,较重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能100%地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。⑶特征指标①流线平行度(流线平行性)流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角较小不能小于65°)。②乱流度(速度不均匀度)速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换较小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。③下限风速这是为了保证洁净室能控制以下四种污染的较小风速:a.当污染气流多方位散布时,送风气流要能有效控制污染的范围;b.当污染气流与送风气流同向时,送风气流要能有效控制污染气流到达下游的扩散范围;c.当污染气流与送风气流逆向时,送风气流能把污染气流***在必要的距离之内。 宣城三十万洁净室锂电池洁净室的厂家?找上海中沃。
洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。中文名洁净室外文名CleanRoom亦称无尘车间、无尘室主要功能控制空气污染应用场合精密机械工业、半导体工业等行业目录1简介2分类▪按气流的流动状态分▪按受控粒子的性质划分3实现洁净度要求的通风措施4洁净室气流组织考虑原则5洁净室的负荷特点和节能6洁净室设计对生产工艺的要求洁净室简介编辑洁净室的发展与现代工业、前列技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率*10%~15%,64为储存器*2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。(3)矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形高效过滤器,也可以用普通高效过滤器配扇形送风口,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。洁净室的流型基本上是上述三种类型,但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现高级别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度,工作台就设在“隧道内”。洁净室按受控粒子的性质划分。上海中沃供。 洁净室的洁净度是多少?找上海中沃。
1,洁净室的污染源有:a、人是洁净室较大的污染源规范进入洁净室内人员的着装和洁净室内人员的行为动作以控制人员的产尘。b、周围环境的污染空气的渗入加强维护结构的密封、堵漏,维持洁净室的正压。c、未经HEPA过滤的空气的送入对送入洁净室的空气要全部经过三级过滤,终端是HEPA过滤,安装过滤器要密封、检漏、堵漏。维持洁净室内的正压。d、围护结构的产尘和其他表面的产尘对围护的表面、顶、墙、地以及其他表面要定期擦拭、消毒和清扫。e、工艺设备和工艺过程的产尘对工艺的产尘要进行局部处理,避免污染扩散到全室。加强局部围挡和局部排风等。f、原材料、容器、水、气、溶剂以及外包装的产尘外包装不应在洁净室内拆除。容器要进行消毒清洗处理,原材料要溯源到原材料的生产、供应、包装等情况。控制原材料、水、气和溶剂的净化来控制其带来的污染。g、在自然界和人们生活环境中存在有大量的微生物。例如;每克土壤中存在有104~1010个微生物,每克水中存在有101~104个微生物,每克空气中存在有104~106个微生物,每平方厘米人的皮肤中存在有101~104个微生物,每平方厘米的地板中存在有104~107个微生物,而且微生物又是一种耐寒,耐热,抗辐射,抗紫外线照射。 嘉定洁净室厂家?找上海中沃。宁波如何做洁净室
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要求其必须采用不燃烧体材料,且耐火极限要达到相应技术规范的要求。2、安全疏散鉴于洁净室自身的特点,我们在设计中应充分考虑人员安全疏散的要求,综合分析疏散人流、疏散路线、疏散距离等因素,通过科学计算,选出比较好疏散线路,合理布置安全出口和疏散通道,建立起一个安全的疏散结构体系,使之满足从生产地点到安全出口不经过曲折的净化路线。此外,由于洁净室多处于密闭状态,自然采光条件差,必须在厂房内设置火灾事故照明和应急疏散照明,并应在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置明显的疏散指示标志以便人员认清方向,迅速撤离事故现场。3、采暖通风和防排烟洁净室内通常都布置有通风空调系统,其目的是为了保障洁净室内各洁净室的空气洁净度,但同时也带来了一潜在的火灾隐患,如果对通风空调系统防火处理不当,就会使烟火通过通风空调管网四处蔓延,造成火势扩大。因此,我们在设计时要按规范要求在通风空调管网的适当部位合理设置防火阀,并按要求选好管网材料,做好管网穿墙、穿楼板的防火封堵工作,防止火势随通风空调系统蔓延。同时,由于洁净室相对密闭,不利于自然排烟。应在厂房内设置事故排烟系统,在疏散走道上设置正压送风的机械排烟系统。 湖州洁净室定做价格
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