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单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用,迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现,*重要一点是高效过滤器必须满布。当然,过滤器是有边框的,顶棚也有边框,不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度:

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%,水平单向流应小于40%,否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度(流线平行性)

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行(在0.5m距离内线间夹角不能小于15°),又要求流线尽可能垂直于送风面(其倾角*小不能小于65°)。

   ②乱流度(速度不均匀度)

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 检测是验证洁净室是否达标的一个指标。检测服务至上

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空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍,对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏,扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。北京实验室检测技术好安装验证的内容包括多项检验信息和地点、辅助设施和设备的安全性能的介绍。

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①换气次数

   换气次数的作用是保证有足够进行稀释的干净气流。

   换气次数的多少应根据计算和经验确定。

   ②气流组织

   气流组织的作用是保证能均匀地送风和回风,充分发挥干净气流的稀释作用。因此要求单个风口有足够的扩散作用,全室回风布置均匀,数量多一些好,要尽量减少涡流和气流回旋。

   ③自净时间

   自净时间是洁净室从污染状态回复到稳定状态的能力的体现,越短越好。也可以指定为从某污染状态降低到某洁净状态的时间。


③下限风速

   这是为了保证洁净室能控制以下四种污染的小风速:

   a.当污染气流多方位散布时,送风气流要能有效控制污染的范围;

   b.当污染气流与送风气流同向时,送风气流要能有效控制污染气流到达下游的扩散范围;

   c.当污染气流与送风气流逆向时,送风气流能把污染气流在必要的距离之内;

   d.在全室被污染的情况下,足以在合适的时间迅速使室内空气自净。


《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样,并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。

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FFU英文全称为(Fan Filter Unit),中文专业用语为风机过滤机组。 FFU风机滤网机组可模块化连接使用,使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。

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