为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内。金华噪音小真空烘箱维修维护
真空烘箱由高真空度真空泵,箱体,工作室,电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作,适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑,美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理,配上门上的硅胶密封压垫,保证箱内的气密性,并采用玻璃纤维保温,提供高效绝热,节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧,以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用,具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。杭州整体成型硅橡密封圈真空烘箱规格尺寸定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。
从结构上分析,一般的干燥箱外壳都是采用冷轧钢板制造,但是从厚度上将,差别却很大。由于真空干燥箱里面的真空环境,为防止大气压压坏箱体,其外壳厚度要较鼓风干燥箱大些许,一般是选择钢板越厚质量越好,使用寿命也越长。为便于观察,在干燥箱的箱门都设有玻璃窗,一般有钢化玻璃和镶嵌门上的普通玻璃,杭州宏誉智能科技有限公司生产干燥箱箱门全部采用钢化玻璃,虽价格稍贵,但是外观漂亮,对于操作人员的安全更是有力的保障。
光电元件干燥箱系列是按LED光电元件生产工艺要求制作。也适用于其他电力、电子元器件的老化、固化等烘干工艺。该干燥箱的温度范围、工作室的尺寸和隔层高度、气流的走向以及控制形式、精度都大限度地满足了LED光电元件及相关行业的需求。材料及特点:控温仪表:产品采用综合的电磁兼容设计和人性化的菜单设计,采用了公司自主研发的自适应控温技术进行温度控制,使得设备操作完全傻瓜化,解决了以往PID控制技术需要多次参数整定,温度过冲等弊病,控温效果好。双屏高亮度宽视窗数字显示,示值清晰、直观。微电脑智能控制,设定温度后,仪表自行控制加热功率,并显示加热状态,控温精确而稳定。超温报警并自动切断加热电源。有定时功能,定时时间长达9999分钟。具有因停电,死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆,来电恢复功能。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、空气夹层,内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特,极大减少了内腔热量的外传。箱体内部结构:置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出,经过干燥物后再被背部的高性能风机吸入,形成合理的风道,能使热空气充分对流,使箱内温度大限度达到均匀。主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。
真空干燥箱日常使用和维护:1、产品出厂前都经过严格的测试,一般不要进行修改,如使用时的环境恶劣,环境温度超出适宜范围,会引起温度显示值与箱内实际温度误差,如超出技术指标范围的,可以参照温度控制器操作说明按所需进行修正。2、仪器在正常工作状态下,如打开箱门时间过长,关上箱门后即使箱内温度有些变动,这也是正常现象。3、除维修外,不能拆开左侧箱体盖以免损坏电器控制系统。4、放气阀橡皮塞若旋转困难,可在内涂上适量油脂润滑。5、真空泵不能长时期工作,因此真空度达到干燥物品要求时,应先封闭真空阀,再封闭真空泵电源,待真空度小于干燥物品要求时,再打开真空阀及真空泵电源,继续抽真空,这样可延长真空泵使用寿命。6、干燥的物品如湿润,则在真空箱与真空泵之间比较好加进过滤器,防止湿润气体抽进真空泵,造成真空泵故障。7、真空干燥箱经多次使用后,会产生不能抽真空的现象,此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出间隔来解决。真空箱干燥温度高于200度时,有可能会产生慢漏气现象,此时拆开箱体背后盖板用内六角板手拧松加热器底座,调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8、真空干燥箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭。 工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。丽水内置泵体真空烘箱
真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。金华噪音小真空烘箱维修维护
操作流程1、将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上,推入干燥箱内;2、关紧箱门,放气阀,箱门上有螺栓,可使箱门与硅胶密封条紧密结合;3、将真空泵与真空阀连接,开启真空阀,抽真空;4、依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准;5、抽完真空后,先将真空阀门关闭,如果真空阀门关不紧,请更换,然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生)6、本所物料的干燥周期,每隔一段时间观察一下,历力表,温度表,和箱体内的变化,来处理。如果压力表指数下降,则可能存在漏气现象,可再进行抽气操作;7、干燥完成后,先将放气阀打开,放出里面气体,再进行打开真空干燥箱箱门,取出物料。金华噪音小真空烘箱维修维护
杭州宏誉智能科技有限公司是一家集研发、生产、咨询、规划、销售、服务于一体的生产型企业。公司成立于2014-10-28,多年来在防潮防氧化设备,精密烘箱,设备高可靠性实验设备,智能安全存储设备行业形成了成熟、可靠的研发、生产体系。在孜孜不倦的奋斗下,公司产品业务越来越广。目前主要经营有防潮防氧化设备,精密烘箱,设备高可靠性实验设备,智能安全存储设备等产品,并多次以机械及行业设备行业标准、客户需求定制多款多元化的产品。我们以客户的需求为基础,在产品设计和研发上面苦下功夫,一份份的不懈努力和付出,打造了宏誉科技产品。我们从用户角度,对每一款产品进行多方面分析,对每一款产品都精心设计、精心制作和严格检验。杭州宏誉智能科技有限公司以市场为导向,以创新为动力。不断提升管理水平及防潮防氧化设备,精密烘箱,设备高可靠性实验设备,智能安全存储设备产品质量。本公司以良好的商品品质、诚信的经营理念期待您的到来!