在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。丽水真空泵抽湿真空烘箱规格尺寸
低温对产品的影响1、橡胶等柔韧性材料的弹性降低,并产⽣破裂;2、⾦属和塑料脆性增⼤,导致破裂或产⽣裂纹;3、由于材料的收缩系数不同,在温变率较⼤时,会引起活动部件卡死或转动不灵;4、润滑剂粘性增⼤或凝固,活动部件之间摩擦⼒增⼤,引起动作滞缓,甚⾄停⽌⼯作;5、元器件电参数发⽣变化,影响产品的电性能;6、结冰或结霜引起产品结构破坏或受潮等。⼆、低温环境效应1、使材料硬化及脆化。2、不同材料的不同收缩特性⽽使零件卡死。3、由于润滑剂增加黏性⽽失去润滑作⽤。4、电性改变(如电阻,电容等)。5、变压器和机电组件功能改变。6、冲击基座变硬。7、物破裂,如铵硝酸。8、使试件产⽣裂痕、脆化并改变耐冲击强度及减低强度。9、玻璃产⽣静⼒疲劳。10、使⽔凝结和冰冻。11、减低⼈的灵巧性及使听⼒和视⼒退化。12、改变燃烧速率。苏州易维护真空烘箱箱内高真空度工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。
一般的电热(鼓风)干燥箱均设有温度均匀度参数:自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%,强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟独电热真空干燥箱不设温度均匀度参数,这是因为真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此,从概念上我们就不能再把通常电热(鼓风)干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体,距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时,晒到太阳的一面很暖和,晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致,同时也缺乏好的评估方法,这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。
由外及里,干燥箱的内胆有两种选择,一是镀锌板,二是镜面不锈钢。镀锌板在长期使用过程中容易生锈,不利于保养;镜面不锈钢外观整洁,易于保养,使用寿命长,属市场上较好的内胆材质,但是价格要稍高于镀锌板。 内胆的样品架子一般有两层,可根据客户的要求增添。由于样品架的质量是由不锈钢压制而成,且多增加的架子不利于内部热风的循环,加大风机的质量要求,所以每加一个架子的成本在三百元之间。国内干燥箱的保温材质主要是以纤维棉为主,少数采用聚氨酯。真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。
金属整体热处理大致有退火、正火、淬火和回火四种基本工艺。退火→将工件加热到适当温度,根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间,然后进行缓慢冷却(冷却速度慢),目的是使金属内部组织达到平衡状态,获得良好的工艺性能和使用性能,或者为进一步淬火作组织准备。正火→将工件加热到适宜的温度后在空气中冷却,正火的效果同退火相似,只是得到的组织更细,常用于改善材料的切削性能,也有时用于对一些要求不高的零件作为热处理。淬火→将工件加热保温后,在水、油或其它无机盐、有机水溶液等淬冷介质中快速冷却。淬火后钢件变硬,但同时变脆。回火→为了降低钢件的脆性,将淬火后的钢件在高于室温而低于710℃的某一适当温度进行长时间的保温,再进行冷却,退火、正火、淬火、回火是整体热处理中的“四把火”,其中的淬火与回火关系密切,常常配合使用,缺一不可。将物料均匀放入真空干燥箱内样品架上,推入干燥箱内;舟山无尘埃破坏真空烘箱箱内高真空度
加热功率比例可任意调节,革除低端控温无温度弊端。丽水真空泵抽湿真空烘箱规格尺寸
烘箱在电子行业的应用:制备半导体:可满足在大规模半导体封装和组装生产中对洁净工艺、低氧化、粘合剂和聚合物的高效固化等要求;组件:解决电容器、电阻器及其他用于手机、影碟机、电视机及其他设备的电子组件的技术难题,陶瓷电容器烘烤到预热、干燥和固化,这些过程需要极为重要的温度一致性和渐进式升降温速率。;数据存储:重要数据存储元件(例如硬盘、录音磁头以及铝制或玻璃磁盘介质)的热处理,•烘烤润滑油,使涂层长久性粘贴在磁盘介质上,从而提高耐久性•铝基板磁盘的磁盘退火•玻璃基板磁盘驱动的基板固化•磁性退火丽水真空泵抽湿真空烘箱规格尺寸
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