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一种蚀刻方法，其特征在于，使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液，在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、0.05重量％至5重量％的磷酸、0.001重量％至0.1重量％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高欢迎光临苏州博洋化学股份有限公司。福建了解BOE蚀刻液推荐厂家

    zno薄膜是一种重要的光电子信息材料，不具有与传统的ito薄膜相比拟的光电性质，而且原料丰富，价格低，无毒性，热稳定性高，在太阳能电池、液晶显示器、光电探测器等领域有着的应用前景，比如可用于制造柔性衬底发光器件、塑料液晶显示器和非晶硅太阳能电池，还可作为透明保温隔热材料用于塑料大棚以及汽车玻璃和民用建筑玻璃的贴膜。尤其在光电子产业ito透明导电薄膜中，in元素资源稀少，价格昂贵，急需找到一种可替代的材料。因此zno被视为ito的替代材料。在zno体系中掺杂al得到zno：al透明导电薄膜，即azo薄膜，掺杂后的薄膜导电性能大幅度提高，电阻率可降低到10-4ohm·cm，而且透明导电薄膜azo薄膜在氢等离子体中稳定性要优于ito，同时具有可同ito相比拟的光电特性，而且azo薄膜的制备方便，元素资源比in元素丰富，且无毒，逐渐成为ito薄膜佳替代者，azo薄膜已经在平板显示器和薄膜太阳能电池中得到了部分应用。但是zno基薄膜湿法刻蚀中，由于金属氧化物本身晶体生长特殊性，刻蚀过程中产生的蚀刻毛刺及均匀性问题一直是al、ga等掺杂氧化物薄膜推广应用的瓶颈，因此开发一款性能优良的azo薄膜蚀刻液很有必要。江苏介绍BOE蚀刻液销售厂家苏州BOE蚀刻液的价格。

酸性蚀刻是制造印刷电路板过程中必不可少的工序，酸性蚀刻工序利用酸性蚀刻液在蚀刻机内完成。酸性蚀刻液包括酸性蚀刻子液和酸性蚀刻母液。通过再生循环方法提取铜回收废液继续使用，可以明显减少环境的污染，电解反应是通过阳极的氧化作用使一价铜变为二价铜，使得蚀刻液恢复再生能力，而阴极则通过还原作用来沉积铜，使得蚀刻液具备蚀刻的负载能力。但是会产生氯离子，阳极存在氯气析出的问题。氯气的析出不只危害了车间工人的健康，产生空气污染。

    微蚀液包括过硫酸钠/硫酸体系和双氧水/硫酸体系，在近几年的运用在PCB之表面处理制程，例如：沉铜（PTH)制程，电镀制程、内层前处理、绿油前处理、OSP处理等生产线。我们公司目前对过硫酸钠/硫酸和双氧水/硫酸两种体系的微蚀工序研发设计了不同的循环再生设备。无论是过硫酸钠/硫酸体系还是双氧水/硫酸体系,我司设备均可把饱和微蚀液处理再生后，返回客户生产线继续使用，回用时，不改变客户原生产工艺参数；在运行我们公司设备时可不停机亦可更换药水，从而达到稳定生产的目的。这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本，还降低废水处理成本，且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版（PCB）蚀刻过程中，蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到的蚀刻效果，每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐（NH4CI）及氨水（NH3）。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度水平，蚀刻用过后的（以下称[用后蚀刻液]）溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水，补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液，既可达到蚀刻工艺的要求。BOE蚀刻液价格咨询，请联系苏州博洋化学。

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    三氯化铁蚀刻液在印制电路、电子和金属精饰等工业中被采用，一般用来蚀刻铜、铜合金、不锈钢、铁及锌、铝等。虽然近些年来越来越要求再生容易，更加环保的蚀刻液，但由于三氯化铁蚀刻液它的工艺稳定，操作方便，价格便宜，因此还仍然被广大蚀刻加工企事业单位采用。三氯化铁蚀刻液适用于网印抗蚀印料、液体感光胶、干膜、镀金抗蚀层等抗蚀层的印制板的蚀刻。（但不适用于镍、锡、锡－铅合金等抗蚀层）1.蚀刻时的主要化学反应三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化－还原过程。在铜表面Fe3+使铜氧化成氯化亚铜。同时Fe3+被还原成Fe2+。FeCl3＋Cu→FeCl2＋CuClCuCl具有还原性，可以和FeCl3进一步发生反应生成氯化铜。FeCl3＋CuCl→FeCl2＋CuCl2Cu2+具有氧化性，与铜发生氧化反应：CuCl2＋Cu→2CuCl所以，FeCl3蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe3+和Cu2+共同完成的。其中Fe3+的蚀刻速率快，蚀刻质量好；而Cu2+的蚀刻速率慢，蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只有Fe3+，所以蚀刻速率较快。但是随着蚀刻反应的进行，Fe3+不断消耗，而Cu2+不断增加。当Fe3+消耗掉35％时，Cu2+已增加到相当大的浓度，这时Fe3+和Cu2+对Cu的蚀刻量几乎相等；当Fe3+消耗掉50％时。福建了解BOE蚀刻液推荐厂家

苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年，公司座落于苏州市高新区化工工业园，是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业，主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。（证券代码：834329）拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队，致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案，力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发能力外，与华东理工大学共同建立省级研究生工作站;长期保持与苏州大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的合作关系，以辅助新产品的开发测试。对新技术、新工艺的研究精益求精，立志成为微电子材料领域个性化解决方案的***